MEMS 정이 history 관련 資料 응용 분야 미래 展望
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작성일 19-09-20 23:06
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레포트/공학기술
MEMS 정이 history 관련 資料 응용 분야 미래 展望
M E M S
목 차
MEMS 란
1
MEMS 의 歷史(역사) / 관련 reference(자료)
2
MEMS 의 응용분야
3
3
MEMS 의 未來(미래)전망
4
4
MEMS 란
이 기술을 말 그대로 전자기계 소자를 육안으로는 보이지 않을 정도로 작은 마이크로 규모로 제작하는 기술
Micro Electro Mechanical Systems
1 / 16
MEMS 의 歷史(역사)
미세 기계요소 즉, 밸브, 모터, 펌프 기어
실리콘 기판위에 압력센서가 속도 센서등과 신호처리용 집적회로, 그리고 센서에 의해서 제어가 가능
1960년대 초 실리콘 가공기술에서 처음
2 / 16
MEMS 관련 보도reference(자료) [1/2]
3 …(To be continued )
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